完成单位

序号

单位名称

通讯地址

1

杭州长川科技股份有限公司

浙江省杭州市滨江区创智街 500 号

2

浙江大学

浙江省杭州市西湖区余杭塘路 866 号

3

杭州芯云半导体集团有限公司

浙江省杭州市滨江区六和路368号（海创园）

4

电子科技大学

四川省成都市郫都区西源大道 2006 号

5

浙江科技大学

浙江省杭州市西湖区留和路 318 号

6

浙江创芯集成电路有限公司

浙江省杭州市萧山区宁围街道

平澜路2118 号

完成人

序号

姓名

工作单位

对成果的贡献

1

赵轶

杭州长川科技股份有限公司

项目的总策划和总负责人

创新点1、2、3的主要贡献者

2

丁勇

浙江大学

项目核心成员，创新点1、3的主要贡献者

3

程玉华

电子科技大学

项目核心成员，为数字测试机的高精度模组开发等提供重要支撑

4

金睿

杭州长川科技股份有限公司

项目核心成员，创新点1、3的主要贡献者

5

徐振

杭州芯云半导体集团有限公司

作为用户单位，为设备需求定义、性能升级改进提供重要意见，协助设备开发、技术升级

6

李其朋

浙江科技大学

项目核心高校合作方，是项目创新点1、3的主要贡献者

7

鲍军其

杭州长川科技股份有限公司

项目核心成员，创新点2、3的主要贡献者

8

许波

电子科技大学

项目核心成员，高校合作方，为测试机中的零部件模组开发提供支撑

9

吴永玉

浙江创芯集成电路有限公司

作为用户使用单位，为设备需求定义、性能升级改进提供重要意见，协助设备开发和技术升级

10

渠海涛

杭州芯云半导体集团有限公司

作为用户使用单位，为设备需求定义、性能升级改进提供重要意见，协助设备开发和技术升级

11

黄峰

浙江科技大学

高校合作方，为分选机的机械运动控制、热管理提供重要技术支撑

12

赵阳

杭州长川科技股份有限公司

项目核心成员，创新点1、3的主要贡献者

13

邱国志

杭州长川科技股份有限公司

项目核心成员，创新点2、3的主要贡献者

本项目成果已通过浙江省技术市场促进会组织的鉴定。

评价（鉴定）委员会名单

序号

姓名

单位

专业领域

职称

1

吴汉明

浙江大学

微电子技术

（集成电路制造）

中国工程院院士，

教授

2

施毅

南京大学

微纳电子、光电子材料与器

中国科学院院士，

教授

3

曾晓洋

复旦大学

集成电路设计与测试

教授

4

付新

浙江大学

流体传动与控制

教授

5

骆建军

杭州电子科技大学

微电子集成电路

教授

6

严晓浪

浙江大学

大规模集成电路CAD技术\系统集成/技术

教授

7

孙伟锋

东南大学

集成电路设计与系统集成

教授

评价（鉴定、验收）意见

2026年6月6日，浙江省技术市场促进会组织召开了由杭州长川科技股份有限公司、浙江大学、杭州芯云半导体集团有限公司、电子科技大学、浙江科技大学、浙江创芯集成电路有限公司共同研发的“高性能芯片测试装备关键技术与系统集成”项目科技成果鉴定会。鉴定委员会听取了项目总结汇报，审查了相关资料，经质询和讨论，形成以下意见：

1.提供鉴定的资料齐全、规范、符合鉴定要求。

2.项目主要创新如下：

（1）提出了多轴同步传动高刚性载片台机构，通过多丝杆平行布置分散承载，最大针测压力达450kg，抗偏载能力达35μm@150kg，支持2048工位并行测试；研发了高功率密度主动控温Chuck技术，采用“高导热流道设计+多通道实时采集+主动控温算法”一体化架构，最大控温功率达2000W，发热功率密度达100W/cm²，优于国外主流设备功率密度指标。

（2）研发了高密度板卡集成的新架构，采用了多通道并行供电技术，设计专用集成式电源模组，单板供电功率达3500W，单机具备4096个数字I/O通道；研发了超高精度供电与实时修调技术，供电电源质量达1mV RMS@20MHz，实现电压精度0.2‰、电流精度0.5‰的精密修调，满足了AI及车规等高性能芯片对大功率、多通道和高可靠性的测试需求。

（3）研发了冷媒直冷与主动温控协同的超大功率散热技术，采用宏微观一体化复合流道设计，ATC能力达105℃@3000W，支持8区独立控温，处于世界领先水平；综合应用Socket吹气、压头控温及预温技术，实现±3℃温度均匀性，压头下压后200ms内快速达到目标结温，满足了高性能芯片-60℃至175℃超宽温域需求。

3.该成果已获得发明专利117件、实用新型专利445件，在盛合晶微、长电科技、华天科技、通富微电、士兰微、杭州芯云等实现量产应用，三年累计创造直接经济效益 31.59亿元。

鉴定委员会认为，该项目技术难度大、创新性强，整体技术达到国际先进水平，其中高功率密度主动控温及超大功率散热技术达到国际领先。经济和社会效益显著，同意通过鉴定。