完成单位

序号

单位名称

通讯地址

1

杭州长川科技股份有限公司

浙江省杭州市滨江区聚才路410号

完成人

序号

姓名

工作单位

对成果的贡献

1

郭剑飞

杭州长川科技股份有限公司

项目负责人，整机系统设计和项目推广

2

张新

杭州长川科技股份有限公司

负责产品定义和推广

3

陈启其

杭州长川科技股份有限公司

整机项目管理，软件技术专家

4

鲍军其

杭州长川科技股份有限公司

温控和机械设计专家

5

张成就

杭州长川科技股份有限公司

整机机械系统设计负责人

6

舒贻胜

杭州长川科技股份有限公司

Loader和Docking设计负责人

7

姚建强

杭州长川科技股份有限公司

Stage和整机精度设计负责人

8

杨奉利

杭州长川科技股份有限公司

上位机软件设计负责人

9

叶波

杭州长川科技股份有限公司

温控部分设计负责人

10

雷洪翔

杭州长川科技股份有限公司

电气设计负责人

本项目成果已通过浙江省技术市场促进会组织的鉴定。

评价（鉴定）委员会名单

序号

姓名

单位

专业领域

职称

1

陈国金

杭州市机械工程学会

机  械

教授

2

陈岁繁

浙江科技大学

机  械

教授

3

杨继隆

浙江工业大学

机  械

教授

4

宋德玉

浙江省机械工程学会

机  械

教授

5

纪华伟

杭州电子科技大学

机  械

教授

评价（鉴定、验收）意见

2024年6月6日，浙江省技术市场促进会在杭州组织召开了由杭州长川科技股份有限公司完成的“新型晶圆电性能测试系统”项目成果鉴定会。鉴定委员会听取了项目技术总结报告，审阅了产品检测、科技查新等报告，考察了现场和样机，经讨论，形成鉴定意见如下：

1、提供鉴定的资料齐全、规范，符合鉴定要求。

2、项目产品由晶圆自动校准测试系统（Stage）、晶圆自动传输系统（loader）、温度控制系统以及整机控制系统等组成。项目突破了晶圆快速预对位、载片台承载能力及刚性提升、宽温域温度段Chuck盘平面度提升、晶圆探针接触阻抗均匀性提升、晶圆探针快速自动校准等多项关键技术；建立了高低温环境下晶圆扎针精度自动补偿和晶圆探针快速自动校准算法模型，开发了三温段Chuck温度控制系统，实现了在不同温度环境下晶圆探针实时快速自动标定和补偿，提高了探针定位精度；研发了晶圆载片台多轴同步传动机构，解决了宽温度范围下高刚性多轴导向技术难题，提高了载片台承载能力；发明了针卡自动水平调节装置，根据探针聚焦的位置自动拟合针卡平面以及调节高度，保证了晶圆探针接触阻抗均匀稳定。项目已获发明专利2件、实用新型专利23件、软件著作权1项，技术处国内领先水平。

3、项目产品经浙江科正电子信息产品检验有限公司检验（报告编号：K0024051100664-C1），所测指标符合相关标准的要求，经用户试用，反映良好，经济和社会效益明显。

4、企业已通过ISO 9001:2015质量管理、ISO 14001:2015环境管理体系、ISO 45001:2018职业健康安全管理体系认证，其生产设备、工艺工装、检测手段和环保措施能满足批量生产要求。

鉴定委员会认为，该项目的开发是成功的，同意通过鉴定。